潔凈廠房裝修工程不同的潔凈等級需要不同的換氣次數。

  換氣次數=房間送風量/房間體積，單位是次/小時。各等級的潔凈廠房裝修換氣次數

  情況如下所示：

  各等級潔凈廠房裝修換氣次數

  Table 1-5 Air Changes in Clean Room of Different Classes

  潔凈廠房等級 換氣次數

  10萬級潔凈廠房 N15次/小時

  萬級潔凈車間 N25次/小時

  千級凈化車間 N50次/小時

  100級潔凈室 平流層 0.2—0.45m/s

  潔凈廠房裝修是按氣流狀態(tài)來分，有亂流潔凈廠房、單向潔凈室和輻射潔凈室。亂流潔 凈室特點是從送風口到回風口的流通截面始終變化，類似一種稀釋的效果，不能 完全將顆粒送向出風口，因此它只能達到1000級及以下的潔凈度。而單向潔凈室 可以創(chuàng)造出更高的潔凈度，其中垂直單向流潔凈室效果更好。在頂棚布滿高效過 濾器FFU，并利用地板格柵回風，從而得到均勻向下的單向平行 氣流，自凈能力強。

  潔凈廠房裝修的布局，從平面結構上來看，有三種形式:開放式、 港灣式和島型布置

  目前在8英寸和12英寸的半導體潔凈廠房布局普遍采用開放式潔凈室加微環(huán)境 的方式，此布局方式可以為潔凈室內的布局帶來很大的便利性，并且可以減少循 環(huán)風量。在開闊的空間內，如用力室，潔凈度達到1萬級，然后在局部的作業(yè)室 內，通過微環(huán)境的控制將潔凈度提高到100級甚至更高。

  減少空氣的循環(huán)量，需要對風量進行精確的控制

  一方面要求潔凈廠房內的 設備布局更加合理，可以設置微環(huán)境，減少高規(guī)格潔凈室的面積以及單向流的需 求；

  另一方面做好凈化間的密閉性，在合理的范圍內降低正壓的控制，保持凈化 間的正壓不要過高"I,都可以減少凈化間內所需要的新鮮空氣的總量，降低了潔 凈室的換氣速度，對于空調系統(tǒng)送入的風量有進一步的降低。

  新風量的減小雖然在一定程度上節(jié)約了能源，但往往意味著會不同程度上降 低室內空氣質量，而通過液體除濕也可以除去空氣的潛熱負荷來降低能源消耗， 而不是通過冷卻除濕。結合兩者，基于液體除濕的空調系統(tǒng)可以通過增加新鮮空 氣進入空調系統(tǒng)的體積來提高室內空氣質量。而除濕液 體可以使用氯化鈣、漠而、氯化鋰等金屬鹵鹽除濕溶液a】。